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德国mlase 准分子激光器技术参数

发布时间: 2022-12-06  点击次数: 1421次

主要产品

MLI 准分子激光

MLI系列设备为工业应用提供直接波长的准分子激光器。当然,如果需要,基本单元可以根据个人需求进行调整。


MLI-200 / 500 / 1000 准分子激光

MLase 的现代紧凑型准分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,脉冲能量高达 16 mJ,重复频率高达 1,000 Hz


市场上具有最高使用寿命和可靠性以及拥有成本的独立设备。由于光束轮廓均匀,能量稳定,适用于要求苛刻的应用。


带有附加LC的准分子激光器还可以进行主动水冷(通过生活用水或外部热交换器;无去离子水),以实现稳定的连续运行。


波长(纳米)

193193193248248248

重复频率(赫兹)

20050010002005001000

稳定的

脉冲能量 (mJ)

666101010

稳定平均功率 (W)

1,23,06,02,05,010

脉冲稳定性(西格玛 %)

222222

光束尺寸(FWHM,VxHmm)

6×36×36×36×36×36×3

光束发散(FWHM,VxHmm)2×12×12×12×12×12×1

脉冲长度

5-105-105-105-155-155-15



MLI-500 / 1000 准分子激光 LC

波长(纳米)

193193248248

重复频率(赫兹)

50010005001000

稳定的脉冲能量 (mJ)661010

稳定平均功率 (W)

3,06,05,010

脉冲稳定性(西格玛 %)

2222

光束尺寸(FWHM,VxHmm)

6×36×36×36×3

光束发散(FWHM,VxHmm)

2×12×12×12×1

脉冲长度

5-105-105-155-15





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