德国mlase 准分子激光器技术参数

主要产品

MLI 准分子激光

MLI系列设备为工业应用提供直接波长的准分子激光器。当然，如果需要，基本单元可以根据个人需求进行调整。

MLI-200 / 500 / 1000 准分子激光

MLase 的现代紧凑型准分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，脉冲能量高达 16 mJ，重复频率高达 1，000 Hz

市场上具有最高使用寿命和可靠性以及拥有成本的独立设备。由于光束轮廓均匀，能量稳定，适用于要求苛刻的应用。

带有附加LC的准分子激光器还可以进行主动水冷（通过生活用水或外部热交换器;无去离子水），以实现稳定的连续运行。

波长（纳米）

193193193248248248

重复频率（赫兹）

20050010002005001000

稳定的

脉冲能量 （mJ）

666101010

稳定平均功率 （W）

1,23,06,02,05,010

脉冲稳定性（西格玛 %）

222222

光束尺寸（FWHM，VxHmm）

6×36×36×36×36×36×3

光束发散（FWHM，VxHmm）2×12×12×12×12×12×1

脉冲长度

5-105-105-105-155-155-15

MLI-500 / 1000 准分子激光 LC

波长（纳米）

193193248248

重复频率（赫兹）

50010005001000

稳定的脉冲能量 （mJ）661010

稳定平均功率 （W）

3,06,05,010

脉冲稳定性（西格玛 %）

2222

光束尺寸（FWHM，VxHmm）

6×36×36×36×3

光束发散（FWHM，VxHmm）

2×12×12×12×1

脉冲长度

5-105-105-155-15