法国PIEZOCONCEPT 三轴紧凑型位移平台

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SPM3系列三轴超高速纳米定位器

三轴超高速纳米定位器。

SPM3级的Z部分可以具有高达50μm的行程范围，并提供市场上最高的速度能力（高达12.5kHz谐振频率）。专为原子力显微镜等要求苛刻的计量应用而设计

SPM3载物台是一款3轴超高速纳米定位器，沿X和Y的行程范围高达75μm，两个轴上的谐振频率均高于2kHz。

SPM3级的Z部分可具有高达50μm的行程范围，并提供市场上最高的速度能力，最大谐振频率为12.5kHz。事实上，当与高功率控制器一起使用时，SPM3.5在Z轴上的阶跃响应时间可以小于一毫秒。这就是为什么SPM载物台特别适合要求苛刻的计量应用，如原子力显微镜。

它可以与粗定位的微载物台结合使用（请参阅我们的混合系统）。该纳米定位器是我们高速产品线的一部分（提供高功率控制器）

LFS3 是一款 3 轴纳米定位器，沿 X 和 Y 提供 100μm 的行程，沿 Z 轴的行程为 20 μm，孔径为 40 x 40 mm

该压电级可以与粗定位的微级结合使用。

C3型三轴位移台 三轴紧凑型纳米定位器。光纤对准、2光子聚合、激光写入应用等应用的理想工具。C3 经过专门设计，可提供 100μm 或 200μm 的行程范围，同时保持其紧凑的外观。该平台还提供 2 轴版本 （C2） 以及 X 轴 （CX） 或 Z 轴 （CZ） 的 1 轴版本。

由于其吸引力的价格和高性能，该平台在光纤对准和激光写入应用方面取得了压倒性的成功。

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